特点

全测量范围(0.05-10mm)内的线性度达±0.5um的高精度，

通过设置窄范围线性度±(0.3+0.1AD)um，可以进行高精度测量。

*1:当以0.32秒)的测量时间(平均1024次测量)测量010mm时，±2σ的值(σ:标准偏差)。

*2:在测量区域中心。(根据我公司指定的检查方法)

*3:AD=标准规和工件的直径差(单位:mm)。

*4:测量物移动(光轴方向或扫描方向)川|起的误差(外径)。

*5:给定区城:[光轴方向]x[扫描方向]。

*6:如果水或灰尘附着在工件或测量部分的窗口玻璃上，则可能会发生故障

附件(选件)

多功能操作显示部            LSM-6200:No.544-071DC

嵌人式操作显示部            LSM-5200:No.544-047

标准校准规套装(80.1,810.0)          NO.02AGD120

电线导向滑轮                                   NO.02AGD210

可调工作台                                       NO.02AGD400

空气罩                                              NO.02AGD230

工作台                                              NO.02AGD270

信号延长电缆(长15m)