特点

实现测量精度E1xY(0.25+2L1000)um的高精度CNC影像测量仪

X，Y，Z各轴采用本公司开发的高分辨力(0.01um)、高精度的低热膨胀玻璃标尺。

Y轴采用高刚性固定桥式移动工作台设计，底座采用具热稳定性强的岩石平板

标配有使用测量仪主机温度传感器和工件温度传感器的自动温度补偿功能。

Hyper QVWLI是QV配备白光干涉仪的复合型高精度3D测量系统，

可根据WL光学系统获取的3D数据进行三维表面形状分析/三维粗糙度分析。还可根据3D数据，进行指定高度的尺寸测量和截面形状测量。