特点

在10mm的宽范围内实现了与激光干涉仪相同的0.005um或0.01um的高分辨力和高精度。

紧凑型的机身使得装置本身小型化，不仅可以作为高精度部件的测量以及高精度定位·控制装置长度测量的传感器，还适用于作为各种测量机的标准规。

也具有低测力规格产品:根据用途可以选择低测力规格，可以测量易变形工件和高性能胶片等。

LGH系列是与专用计数器的组合规格。

新型号采用光电式反射型线性编码器，在低价格下实现了0.01um高分辨率，示值误差0.2um，测量范围10mm的宽范围。

响应速度与以往产品相比提高了2.8倍(250mm/s→700mm/s)，兼顾了高精度。

装配新开发的超高精度透射型线性编码器，实现0.005um(5nm)的高分辨力。

在测量范围10mm的宽范围内实现了示值误差0.1um。适用于标准规的校正·赋值，以及用于测量机的基准器。

注：

*1:仅在与专用计数器组合使用时才能保证

*2:开箱后的储存温度/湿度范围与使用温度/湿度范围相同

*3: Digimatic输出zui多6位数据。7位以上的数据，不会全位数输出到显示器